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Tomei Giken激光干涉儀介紹分析
Tomei Giken制造和銷售自己的超小型
（akion）干涉儀。 我們提供各種入射孔徑的Fizeau型激光干涉儀，例如4英寸（Φ100毫米），6英寸（Φ150毫米）和1.5英寸（Φ38毫米）。使用參考透鏡，可以測(cè)量和評(píng)估拋光表面，例如玻璃平面、晶圓、反射鏡和具有小到大孔徑的透鏡球，精度為 λ/20。
超緊湊型 4“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高品質(zhì)機(jī)器
| 測(cè)量校準(zhǔn) | 4英寸（100毫米） | 外部尺寸 | 寬340x長(zhǎng)190x高260毫米 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 質(zhì)量 | 約 14 公斤 |
| 放大 | 1倍~6倍（手動(dòng)變焦） | 傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)：640 × 480 像素 |
| 參考透鏡（參考球面）精度 | λ/20 | 權(quán)力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
傳感器可根據(jù)要求更改為3M像素。
超緊湊的 4“ Fizeau 激光干涉儀系統(tǒng)。
具有 6 倍變焦機(jī)制的高品質(zhì)機(jī)器。
干涉儀垂直型是基本型，但我們也可以制造干涉儀垂直型或干涉儀水平型。
| 測(cè)量校準(zhǔn) | 4英寸（100毫米） | 測(cè)量行程 | 標(biāo)準(zhǔn)：約600mm（特殊訂單：約800mm |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 樣品安裝臺(tái) | Φ120毫米 |
放大 | 1倍~6倍 | 樣品制備 | 5軸載物臺(tái) |
| 參考透鏡（參考球面）精度 | λ/20 | 安裝體積（包括隔振臺(tái)） | 寬1000x長(zhǎng)900x高2000mm |
隔振臺(tái)可改為臺(tái)式主動(dòng)隔振臺(tái)
（*） 測(cè)量行程長(zhǎng)度不包括鏡頭安裝夾具的高度（*） 安裝體積不包括
PC 機(jī)架。
超緊湊型 4“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)制的高品質(zhì)機(jī)器。
作為牛頓檢查器，增強(qiáng)了支架的剛性和穩(wěn)定性，并將干涉儀主體放置在底部。
| 測(cè)定口徑 | 4inch (100mm) | 測(cè)定ストローク | 標(biāo)準(zhǔn)：約600mm |
| 光源 | He-Neレーザー(633nm) | サンプル設(shè)置臺(tái) | Φ120mm |
| 倍率 | 1倍 ～ 6倍 | サンプル調(diào)整 | 3軸ステージ |
| 基準(zhǔn)レンズ（參照球面） 精度 | λ/20 | 設(shè)置容積 | W400xD400xH1200mm |
（※）測(cè)定ストローク長(zhǎng)はレンズ設(shè)置治具高さ分を含んでおりません
超緊湊型 6“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高品質(zhì)機(jī)器
| 測(cè)量校準(zhǔn) | 6英寸（150毫米） | 外部尺寸 | 寬758x長(zhǎng)316x高316mm |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 質(zhì)量 | 約 42 公斤 |
| 放大 | 1倍~6倍（手動(dòng)變焦） | 傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)：640 × 480 像素 |
| 參考平面（參考平面）精度 | λ/20 | 權(quán)力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
如果您需要高密度傳感器，請(qǐng)聯(lián)系我們。
超緊湊型 6“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)制的高品質(zhì)機(jī)器。
平板玻璃、反射鏡、晶圓等的平面精度測(cè)量系統(tǒng)
它可以提供垂直類型（左圖）或X-box類型（右圖：90°折疊）。
| 測(cè)量校準(zhǔn) | 6英寸（150毫米） | 參考平面（參考平面）精度 | λ/20 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 樣品制備 | 2軸載物臺(tái)（α，β傾斜） |
| 放大 | 1倍~6倍（手動(dòng)變焦） | 安裝體積（包括隔振臺(tái)） | 寬1500x長(zhǎng)800x高1800mm |
* 安裝區(qū)域適用于立式系統(tǒng)，不包括 PC 機(jī)架。
超緊湊型 1.5“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高品質(zhì)機(jī)器
| 測(cè)量校準(zhǔn) | 1.5英寸（38毫米） | 外部尺寸 | 寬121x長(zhǎng)127x高248毫米 |
| 光源 | 氦氖激光 | 質(zhì)量 | 約4.5公斤 |
| 放大 | 1倍~6倍（手動(dòng)變焦） | 傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)：640 × 480 像素 |
| 參考透鏡（參考球面） 表面精度 | λ/10 | 權(quán)力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
超緊湊型 1.5“ 菲索激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高質(zhì)量機(jī)器
可提供垂直_downward（左）或vertical_upward（右）。
| 測(cè)量校準(zhǔn) | 1.5英寸（38毫米） | 測(cè)量行程 | 標(biāo)準(zhǔn)：約300mm（特殊訂單：約600mm |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 樣品安裝臺(tái) | 60x60毫米 |
| 放大 | 1倍~6倍 | 樣品制備 | 5軸載物臺(tái) |
| 參考透鏡（參考球面） 表面精度 | λ/10 | 安裝體積（不包括隔振臺(tái)） | 寬250x長(zhǎng)250x高800mm |
